熱式質(zhì)量流量控制器主要應用在哪些地方
熱式質(zhì)量流量控制器是一種用于測量和控制氣體或液體的質(zhì)量流量儀表。它可以自動控制氣體流量,即用戶可以根據(jù)需要設定流量,MFC可以自動保持流量恒定在設定值。即使系統(tǒng)壓力波動或環(huán)境溫度變化,也不會偏離設定值。
該產(chǎn)品通常由電路板、傳感器、進出口管接頭、分流器管、外殼、調(diào)節(jié)閥等部件組成。它是一種可手動設置或與計算機自動連接的氣體流量穩(wěn)定裝置。簡單來說,本產(chǎn)品也是一種穩(wěn)流裝置。
該控制器也被制造用來測量和監(jiān)控從每分鐘幾毫升到每分鐘幾千升的范圍。它的連接方式也有很多種,比如卡套連接、螺紋連接、寶塔嘴連接以及法蘭連接等多種方式。
正是因為熱式質(zhì)量流量控制器準確度高,重復性好的特點,進而被很多領域都接受,比如它可應用在石油化工,冶金,制藥,汽車電子,實驗室,環(huán)保行業(yè),制氣配氣等行業(yè)中。在檢測氣體或液體的擴散,氧化,光纖熔煉,離子注入,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,以及真空鍍膜設備,微反應裝置,混氣配氣系統(tǒng),毛細管測量氣象色譜儀,光導纖維制造設備中都有用到本產(chǎn)品,可見該產(chǎn)品的作用之大。
該控制器特點:
1、高精度
2、流量范圍寬 - 從0.003一直到 2500 lpm
3、耐壓等級 - 高達 1500 psi/100 bar(可選:4500 psi/310 bar)
4、可編程多氣體/多量程功能
5、可單獨輕松訪問的診斷/維護端口
熱式質(zhì)量流量控制器采用熱擴散原理,而熱擴散技術是一種在惡劣條件下具有優(yōu)良性能和高可靠性的技術。本控制器是一種無需溫度、壓力補償,對管道內(nèi)各種氣體流動進行方便、準確監(jiān)測的產(chǎn)品。它是一種新型的流量測量和監(jiān)測儀器。