國產(chǎn)質(zhì)量流量控制器的耐壓主要分為:10Bar、50Bar和100Bar。10Bar的流量控制器主要為差壓式(也稱節(jié)流式)流量計是基于流體流動的節(jié)流原理,利用流體流經(jīng)節(jié)流裝置時產(chǎn)生的壓力差而實現(xiàn)流量測量的。在選型熱式氣體質(zhì)量流量控制器和流量計的時候,用戶常問關(guān)于壓力數(shù)值的問題。
國產(chǎn)質(zhì)量流量控制器耐壓100bar(產(chǎn)品在50MPa壓力下通過打壓測試),可測量腐蝕性氣體,結(jié)構(gòu)緊湊,重復(fù)性高,響應(yīng)時間快,性價比高,可廣泛用于設(shè)備配套。Z大流量可測到100SLPM,質(zhì)量流量控制器的流量可測到100SLPM。
國產(chǎn)質(zhì)量流量控制器可以測量和控制各種氣體的質(zhì)量流量和標(biāo)況流量,產(chǎn)品的主要優(yōu)點為無需溫壓補償,測量的準(zhǔn)確度高,響應(yīng)速度快。那壓力數(shù)值對MFC又有什么影響呢?50Bar和100Bar的流量控制器主要為熱式流量計,熱式流量計采用熱擴散原理,熱擴散技術(shù)是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術(shù)。熱式流量計有兩個溫度傳感器被置于介質(zhì)中時,其中一個傳感器被加熱到環(huán)境溫度以上的溫度,另一個溫度傳感器用于感應(yīng)介質(zhì)溫度。
耐壓是指熱式氣體質(zhì)量流量控制器能承受的最大壓力值是多少,簡而言之是指在多大壓力范圍之內(nèi)使用不會損壞產(chǎn)品。工作壓差是指在使用時,流量控制器的進氣端和出氣端的壓力兩兩相減的數(shù)值差。
流量控制器在使用時,根據(jù)流量的大小,需要保證的工作壓差范圍為:1-7Bar之間。本公司流量控制器出廠時,一般按照默認工作壓差標(biāo)定,如有特殊要求,可在訂貨時特殊說明即可。熱式氣體質(zhì)量流量計對工作壓差沒有特殊要求,用戶只需要在流量計能承受的最大耐壓范圍內(nèi)即可正常使用。